最近の会社事件について Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. 認証

半導体製造という最先端分野では、生産環境のわずかな変化が製品の品質に決定的な影響を与える可能性があります。浄化設備業界で長年の深い経験を持つ専門メーカーである広州クリーンルーム建設有限公司は、半導体クリーンルームにおける気流差圧制御の核心的な位置を深く理解しています。本日は、半導体クリーンルーム向けの気流差圧制御ソリューションを包括的に分析し、安定した効率的な生産環境の構築を支援します。

半導体チップの製造プロセスは非常にデリケートです。塵埃粒子や微生物などの汚染物質が混入すると、チップの短絡や断線などの深刻な問題を引き起こす可能性があります。例えば、高度なプロセスチップのリソグラフィープロセスを例にとると、チップ上の線幅はナノメートルレベルに達しています。直径わずか0.1マイクロメートルの塵埃粒子でさえ、リソグラフィーパターンのずれを引き起こし、チップのスクラップにつながる可能性があります。気流差圧を合理的に構築し、クリーンルームを陽圧状態に保つことで、外部からの汚染物質を効果的にブロックし、チップ生産のための目に見えない保護バリアを構築します。

半導体製造には、リソグラフィー、エッチング、ドーピングなど、さまざまな複雑なプロセスが含まれます。各プロセスは、環境温度、湿度、清浄度に対して異なる要件を持っています。安定した気流差圧は、各エリアの環境パラメータが常にプロセスで要求される範囲内に維持されることを保証し、プロセスの円滑な進行のための確実な保証を提供します。エッチングプロセスにおいて、気流が不安定な場合、エッチングガスの分布が不均一になり、エッチング速度に不整合が生じ、チップのエッチング精度と製品品質に深刻な影響を与える可能性があります。

• コア生産エリア: リソグラフィー、エッチング、ドーピングなどの主要なプロセスがこのエリアで実行されます。ここでは、清浄度と陽圧に対する要件が非常に高くなっています。コア生産エリアの圧力を、隣接する補助エリアよりも15〜25 Pa高くすることが推奨されており、外部からの汚染物質の侵入のリスクを最小限に抑え、チップ製造プロセスが汚染によって妨げられないようにします。
• 補助生産エリア: 材料の一時保管エリアや設備のメンテナンスエリアなどの補助エリアは、清浄度要件はコア生産エリアよりもわずかに低いものの、ある程度の陽圧を維持する必要があります。一般的に、廊下などのエリアよりも5〜10 Pa高くすることで、廊下の汚染物質が補助エリアに入り込み、コア生産エリアの環境を危険にさらすのを防ぎます。
• 人員と材料の通路: 人員と材料が出入りする通路については、効果的なエアロック効果を形成するために、合理的な差圧勾配を慎重に設定する必要があります。非クリーンエリアからクリーンエリアに入るときは、通過する各ドアで圧力が徐々に増加し、チェックポイントの層のように機能し、人員と材料とともにクリーンルームに入る汚染物質を効果的にブロックします。

• 高精度圧力センサー: 広州クリーンルーム建設有限公司が独自に開発した高精度圧力センサーは、優れた性能を発揮します。その測定精度は±0.1 Paに達し、ワークショップの各エリアの圧力変化をリアルタイムで正確に捉え、異常な圧力変動を即座に検出し、タイムリーな対策を講じるための強力な基盤を提供します。
• インテリジェント換気制御システム: このシステムは、高精度圧力センサーと密接に連携しています。プリセットされた差圧値に従って、ファン速度とバルブ開度を自動的かつ精密に調整し、気流のインテリジェントで洗練された制御を実現します。特定のエリアの圧力が設定値より低いことを検出すると、システムは迅速に反応し、自動的に空気供給量を増やしたり、空気排出量を減らしたりして、圧力をすばやく正常レベルに戻します。

測定データの精度と信頼性を確保するために、圧力センサーを6か月ごとに厳密に校正します。同時に、換気設備の包括的な検査を定期的に実施し、ファンインペラの摩耗、バルブが正常に開閉できるかどうかなどを注意深く確認し、経年劣化または損傷したコンポーネントをタイムリーに交換して、機器が常に最適な動作状態にあることを確認します。

ワークショップのスタッフ向けに、気流差圧制御に関する知識に関する体系的なトレーニングを実施し、差圧制御の重要性と異常事態の処理方法を深く理解できるようにします。差圧アラームが発生した場合、スタッフは考えられる原因（設備の故障やパイプラインの漏れなど）を迅速に分析し、タイムリーに効果的な対策を講じて、ワークショップの生産の継続性と安定性を確保できます。

専門的な気流差圧データ監視システムを構築し、長期間蓄積された圧力データの詳細な分析を実施します。データ分析を通じて、潜在的な問題を鋭く検出できます。たとえば、一部のエリアの圧力が頻繁に変動する場合、設備の故障や不合理な空気分配が原因である可能性があり、その後、ターゲットを絞った最適化調整を行い、気流差圧制御ソリューションを継続的に改善できます。

広州クリーンルーム建設有限公司は、深い技術的蓄積と豊富なプロジェクト経験により、高品質の浄化設備を提供するだけでなく、半導体クリーンルーム向けの包括的な気流差圧制御ソリューションと完全なポストメンテナンスサービスをカスタマイズできます。半導体クリーンルームの建設を計画している場合、または既存のワークショップの運用中に関連する問題に遭遇した場合は、お気軽にお問い合わせください。業界をリードする半導体クリーン生産環境を共に創造し、半導体産業の発展に貢献しましょう。