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最近の会社事件について Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. 認証

深青のガリウム酸化半導体のための塵のないクリーンルームの建設

2024-12-04

半導体分野では、新素材を原動力とする技術革新が急速に進んでいます。その中でも、非常に有望な「新星」として注目されている深青色酸化ガリウムは、その優れた特性により、高性能半導体デバイスの研究開発に新たな道を開きました。しかし、実験室での成果を大規模な工業生産に転換するには、その特性に適した無塵クリーンルームが不可欠です。は、豊富なプロジェクト経験、専門的な技術チーム、高品質な浄化製品を基盤に、プロセス全体にわたるワンストップソリューションをカスタマイズします。予備計画、建設から、その後の運用とメンテナンスまで、企業が深青色酸化ガリウム業界で優位性を確立できるよう、正確な努力を重ねます。このようなワークショッププロジェクトを計画している場合や、建設の詳細についてご質問がある場合は、お気軽にご連絡ください。クリーン半導体製造の新しいモデルを共に創造しましょう。I. 浄化レベルの厳格な管理

深青色酸化ガリウム半導体の製造プロセスは、埃や微生物などの不純物に非常に敏感です。ウェーハ製造、リソグラフィ、エッチングなどの主要プロセスにおいて、わずかな粒子が「混入」するだけでも、チップの短絡、性能低下、歩留まりの大幅な低下を引き起こす可能性があります。したがって、ワークショップの浄化レベルは、通常、クラス10以上の基準に達する必要があります。これは、1立方メートルの空気中の粒径が0.5マイクロメートルを超える埃の数を10個以下に厳密に制御することを意味します。

広州昆嶺は、国際的な最先端の空気ろ過技術を採用しています。大きな埃の粒子を遮断する一次ろ過から、中程度のサイズの不純物を捕捉する中効率ろ過、そして高性能粒子状エアフィルター（HEPA）と超低浸透エアフィルター（ULPA）による層状「スクリーニング」を通じて、ワークショップに入る空気がほぼ不純物を含まないことを保証し、精密生産のための純粋な基盤を築いています。II. 温度と湿度の精密な制御

酸化ガリウム半導体材料の電気的特性と結晶構造の安定性は、温度と湿度の異なる環境下で大きく変化します。適切な温度範囲は通常22℃～25℃に固定され、湿度は相対湿度（RH）40％～50％に維持されます。ワークショップには、インテリジェントな温度と湿度制御システムが装備されています。環境データをリアルタイムで監視する高精度センサーを通じて、エアコン、加湿器、除湿器と連携し、迅速に対応し調整します。暑い夏には温度が急上昇すると、冷却モジュールが効率的に作動して冷却し、冬に乾燥している場合は、加湿装置が正確に噴霧して湿度を上げ、一定の温度と湿度「微気候」を作り出し、酸化ガリウム材料と設備を最適な動作状態に保ち、プロセスの逸脱のリスクを軽減します。

III. 細心の注意を払った静電気対策

半導体処理において、静電気は「隠れた殺人者」です。深青色酸化ガリウムチップの回路は微細であり、静電気による放電現象は、トランジスタを簡単に破壊し、チップを損傷させる可能性があります。床材は、静電気防止PVCまたはエポキシ自己平準化フローリングで作られており、表面抵抗は10^6～10^9オームの範囲内に厳密に制御され、静電気を迅速に放電します。設備と作業台には静電気除去装置が装備されており、イオンファンが継続的にプラスイオンとマイナスイオンを吹き出し、電荷を中和します。オペレーターは静電気防止作業服と靴カバーを着用し、静電気の蓄積と放電による潜在的な危険を根本から排除し、製品の完全性を保護するために完全に「武装」しています。

IV. 換気と気流組織の科学的な計画

ワークショップでの適切な換気は、新鮮な空気を確保するだけでなく、プロセスの排ガスを排出し、冷却のための熱を放散するのに役立ちます。酸化ガリウム製造における特定のプロセスでは、一方向流と乱流の空気分布形態の組み合わせが採用されています。リソグラフィエリアでは、安定した流速（毎秒0.3～0.5メートル）の一方向流が埃を正確に運び出し、材料保管や組み立てなどのエリアでは、乱流換気が設定され、空気を効率的に入れ替えます。換気ダクトの材料は、防火、防錆、低空気漏れ率を考慮して選択されています。ワークショップの規模と空気交換の頻度に応じてファンが正確に選択され、空気量と空気圧が適切であり、空気の秩序ある流れを維持し、有害物質の濃度を薄めます。

V. プロセス設備の適切なレイアウト

深青色酸化ガリウムの準備プロセスは複雑であり、リソグラフィマシン、エッチングマシン、化学気相成長装置などは、サイズ、重量が異なり、動作中の振動や放熱に対する特別な要件があります。ワークショップのレイアウトは、「スムーズなプロセスフローと設備間の干渉がない」という原則に準拠しています。異なる機能エリアが分割され、重量のある設備は、良好な耐荷重性と優れた衝撃吸収性を備えたエリアに配置されます。放熱チャネルが確保され、設備の放熱曲線に応じて冷却装置が設置されています。隣接する設備間の間隔は、メンテナンス、操作、デバッグを容易にするために合理的であり、設備の効率的な連携と高品質な半導体製品の安定した生産を可能にします。

VI. アップグレードされた人員管理とトレーニング

人々はワークショップの運営における重要な要素ですが、同時に潜在的な汚染源でもあります。深青色酸化ガリウム向けの無塵クリーンルームに入る人員は、エアシャワーによる埃除去から、滅菌保護服、マスク、手袋の着用まで、厳格な着付けプロセスを経る必要があります。定期的に専門的なトレーニングを実施し、半導体プロセスに関する従業員の知識、クリーンルームでの操作規範、および緊急事態への対応能力を強化します。新入社員には、経験豊富な同僚による実践的な指導が行われ、材料の取り扱いと設備の操作の詳細を習得し、人的ミスによる製品汚染や損傷の可能性を減らします。

深青色酸化ガリウム半導体向け無塵クリーンルームの建設は、挑戦であると同時に機会でもあります。

広州クリーンルーム建設有限公司は、豊富なプロジェクト経験、専門的な技術チーム、高品質な浄化製品を基盤に、プロセス全体にわたるワンストップソリューションをカスタマイズします。予備計画、建設から、その後の運用とメンテナンスまで、企業が深青色酸化ガリウム業界で優位性を確立できるよう、正確な努力を重ねます。このようなワークショッププロジェクトを計画している場合や、建設の詳細についてご質問がある場合は、お気軽にご連絡ください。クリーン半導体製造の新しいモデルを共に創造しましょう。