半導体分野では 新しい材料によって テクノロジーの革命が進んでいます 深青のガリウム酸化物優れた特性を持つ高性能半導体装置の研究開発に新たな道を開いたしかし,実験室の成果から大規模産業生産へと変えるには,その特性に合った塵のないクリーンルームが不可欠です..株式会社 浄化業界に長年 深く関わっています深い青いガリウム酸化半導体のための塵のないクリーンルームの建設の重要なポイントを全面的に理解するためにあなたを連れて行く.
I. 浄化レベルを厳格に管理する
深青のガリウム酸化半導体の製造プロセスは,塵や微生物などの不純物に対して非常に敏感です.そしてエッチングチップにショート回路を起こすこともあり 性能が低下し 生産率が著しく低下します工場の浄化レベルは通常 10級またはそれ以上の基準に達する必要がありますこれは,空気の3立方メートルあたり0.5マイクロメートル以上の粒子の塵粒子の数は,10個以内に厳格に制御されていることを意味します.広州・クンリングは国際的に先駆的な空気過濾技術を採用大量の粉塵を捕捉する原始フィルタから 中程度の不純物を捕捉する中程度の効率のフィルタまでそして,高効率の粒子空気フィルター (HEPA) と超低透気空気フィルター (ULPA) を介して,層次"スクリーニング"を行う精密生産のための純粋な基礎を設ける. 精密生産は,精密生産のための純粋な基礎を設ける.
II. 温度と湿度 の 正確 な 制御
ガリウムオキシド半導体材料の電気特性と結晶構造の安定性は,異なる温度と湿度環境下で大きく異なる.適した温度範囲は通常 22 °C から 25 °C に制限されます工房は,インテリジェントな温度と湿度制御システムで装備されています.環境データをリアルタイムに監視する 高精度センサーを通じて暑い夏の日に気温が急上昇すると冷却モジュールは冷却に効率的に動作します湿度を増やすために精密にスプレーします.恒常な温度と湿度"微気候"を作り出し,ガリウム酸化物材料と設備を最高の作業状態に保ち,プロセス偏差のリスクを軽減する.
III. 静止 状態 に 対し て 慎重 な 対策
半導体処理では 静電は"隠れた殺人者"です 深青のガリウム酸化チップの回路は静電によって引き起こされる放電現象は,簡単にトランジスタを壊し,チップを損傷することができます. 床材は,反静的PVCまたはエポキシ自立床材で作られています.表面抵抗が10^6~10^9オーム範囲内で厳格に制御され,静電を素早く散布する装置や作業台には静的消化器があり,イオン扇風機は電荷を中和するために,正イオンと負イオンを連続的に吹く.作業員 は 静電 防止 作業 服 や 靴 蓋 を 履く静電の蓄積と源からの放出による隠れた危険を排除し,製品の整合性を保護する.
IV 換気と空気流の組織に関する科学的計画
作業場内の良質な換気は,新鮮な空気を確保するだけでなく,排気処理廃棄ガスを排出し,冷却のために熱を散布するのに役立ちます.ガリウム酸化物生産の特定のプロセスでは,一方向流と渦巻き流の空気配送形式の組み合わせが採用されるリトグラフィーの領域では,安定した流量率 (0.3〜0.5m/s) の垂直単方向流が精密に塵を運び出します.熱流換気装置が設置され,効率的に空気を換える換気管の材料は,火災防止,腐食防止,低気流出率を考慮して選択されます. Fans are accurately selected according to the scale of the workshop and the frequency of air changes to ensure that the air volume and air pressure are suitable and maintain the orderly flow of air and dilute the concentration of harmful substances.
V. 処理機器の適切な配置
濃い青いガリウムオキシドの製造過程は複雑で,リトグラフィー機,エッチング機,化学蒸気堆積装置など,サイズ,重量,動作中の振動と熱消耗に対する特殊要件ワークショップの配置は"流暢なプロセス流通と機器間の不干渉"の原則を遵守しています.重装備は負荷耐性があり 衝撃吸収性が良好な場所に置かれます熱消耗チャネルを予約し,冷却装置は設備の熱消耗曲線に従って設置する.隣接する機器の間隔は,保守を容易にするために合理的である.高品質の半導体製品の効率的な接続と安定した生産を可能にする.
VI. 人事管理と訓練の向上
人材は 工場の運営の重要な要素ですが 汚染源でもあります濃い青いガリウム酸化物のための塵のないクリーンルームに入るスタッフは,厳格な敷き布団プロセスを通過する必要があります防塵衣やマスクや手袋を 層ごとに着用して 掃除します半導体プロセスに関する従業員の知識を強化するために,定期的に専門訓練が行われます.クリーンルームでの操作基準,緊急事態に対応する能力新しい 従業員 は,材料 処理 や 機器 の 操作 の 細部 を 熟知 する ため に,経験 ある 同僚 から 実用 的 な 指導 を 受け ます人為的な誤りによる製品汚染や損傷の確率を減らす.
深青のガリウム酸化半導体のための塵のないクリーンルームの建設に従事することは,挑戦と機会の両方です. , Ltd.は,その豊富なプロジェクト経験,専門的な技術チーム,および高品質の浄化製品に依存する 一つのストップソリューションをプロセス全体にカスタマイズします.建設から後の運用と保守深い青いガリウム酸化物産業の高地を占めるよう 企業を支援するために 精密な努力をします作業場のプロジェクトを計画している場合や 施工の詳細について質問がある場合安全な半導体製造の 新しいモデルを作るために 一緒に働こう