急速な技術開発の時代において 量子チップは 最先端技術分野における 核心部品として 製造環境に対して 非常に厳しい要求事項があります広州 クリーンルーム 建設株式会社業界で長年の経験を持つ 浄化機器のプロフェッショナルメーカーである., Ltd は,今日,量子チップ製造のためのクリーンルームの建設プロセスを明らかにします.

1プロジェクト前計画と需要分析

量子チップの クリーンルームを 作る最初のステップは 非常に重要です チップ製造過程のあらゆるリンクを 深く理解することが必要ですチップリトグラフィーから温度,湿度,塵粒子の数などの環境パラメータに対する要求が異なります.電気静止制御. チップ製造企業と密接にコミュニケーションをとる. 生産規模と技術的な経路に基づいて,精密にワークショップの面積とレイアウトを決定,スタッフの流れを計画する3つの流れが互いに干渉しないようにし,交差汚染を避けるようにし,将来効率的な生産のための堅牢な基盤を築きます.

2浄化レベルの決定

量子チップの製造には,通常,ISOクラス3またはそれ以上の非常に高い浄化レベルが必要です.これは,塵粒子の数が0を超えることを意味します.1立方メートルあたり1マイクロメーターは,単位数に厳格に制御する必要があります. チップ製造プロセスの精度に応じて,リトグラフィーエリアと超清潔なテストエリアなどの異なる領域の浄化レベルを決定します.対象となる浄化装置を構成するために微小レベルでの塵の不純物によってチップが乱されないことを保証し,チップの出力率を保証します.

3建築構造設計

工房の建築構造は 浄化の要求に合わせて 壁や床や天井は 防空で 滑らかで 清潔で抗静的材料壁には無縫の接着を備えた ステールプレートが選択できます エポキシス式の自己平準化で 床は耐磨性 耐腐蝕性 静止性があります;屋根は人がアクセスできるように設計され,後期機器の保守に便利です.高効率の微粒子空気フィルター (HEPA) と超低透気気フィルター (ULPA) が設置され,均等な空気供給と安定した長続きする浄化効果が保証されます.

4空気浄化システムの選択と設置

空調装置は冷却,暖房,暖房などの複数の機能を持つ必要があります湿化温度と湿度を非常に小さい誤差範囲で正確に調節する.供給と帰還気管は,ワークショップの配置に従って合理的に計画されています.濾過器 は 段階 的 に 動作 し ます. 濾過器 は 細かい フィルター を 設置 し て いる の で,濾過器 は 細かい フィルター を 設置 し て い ます.主要フィルターは大粒粉を除去する中程度の効率のフィルターは空気をさらに浄化します高効率のフィルターと超高効率のフィルターは チップ製造領域に ほぼ無菌で塵のない超清潔な空気を供給します.

5電気静止とマイクロ振動制御

量子チップは静電に非常に敏感で 微小な静電放電がチップを損傷する可能性があります Professional electrostatic elimination equipment such as ion fans and electrostatic grounding systems are equipped in the workshop to ensure that the electrostatic potential is within the safe threshold同時に,機器の操作と人材の移動によって発生する微小振動を考えると,衝撃吸収設計は建物の基礎から採用されています. and shock - absorbing pads are also equipped for equipment installation to prevent the micro - vibrations from being transmitted and affecting the accuracy of precision processes such as chip lithography.

6水,電気,ガスシステムの支援

水,電気,ガス の 安定 し て 信頼 できる 供給 が ワークショップ の 運営 の 保証 です.清水 システム は,チップ 製造 の ため に 高 清度の 水源 を 提供 し て い ます.清掃やエッチングなどのプロセスのニーズを満たす電子グレードの超純粋な水の標準に達します. 電力システムは二回路電源を採用します.突発的な停電に対応し,主要機器の継続的な動作を保証するための無中断電源 (UPS) で装備ガスシステムは,窒素とアルゴンなどの特殊ガスを正確に分配します. 管路は厳格に密封され,ガス汚染がチップ品質に影響を及ぼすのを防ぐために浄化されています.

7設備の設置と運用

浄化装置と生産装置は順番に設置されます. 設備が平坦で安定していることを確保するために,設置仕様に厳格に準拠して設置する必要があります.,設置後,共同運用が行われます. 生産条件をシミュレートし,浄化効果,温度と湿度制御を包括的にテストします.装置のロックすべての指標が設計要件を満たすまでパラメータを繰り返し調整し,量子チップの正式生産のための完璧な製造環境を作成します.

広州クリーンルーム建設株式会社 専門的なチームと先進技術で 量子チップのクリーンルームの 建設プロセスの詳細を 制御しています量子技術企業に より高いレベルに到達し 量子チップの大量生産の新たな旅に出る手助けクリーンルームの建設に 必要なものがあれば 連絡してください テクノロジーの未来を 一緒に創造しましょう