現代の産業生産と科学研究において,クリーンルームは極めて重要な役割を果たしています.クリーンルーム内の安定した優れた環境品質を確保するために,MAU + FFU + DCC システムが登場し,大流の空気浄化ソリューションになりましたこの記事では,このシステムの制御技術について詳しく説明し,理想的なクリーンスペースを作成するために,クリーンルームで正確にどのように機能するのかを理解します.

MAU (メイクアップエアユニット) は,システム内の"空気の予備処理の先駆者"として,外から新鮮な空気を導入し,一連の処理を行う重要な作業を担っています.フィルタリングなど暖房,冷房,湿気,脱湿. その目的は,最初は清潔室の温度,湿気,清潔性の基準を満たす新鮮な空気を供給することです.FFU (ファンフィルターユニット) は,ワークショップの"空気浄化精霊"のようなものです高効率のフィルターを通して空気を細かく濾過し,ワークショップ内の特定のエリアの空気清潔性が非常に高い水準に達することを保証します. さらに,柔軟に組み合わせられ 配分できますDCC (ドライクーリングコイル) は"温度と湿度を精密に調整するマスター"のようなものです.主に空気温度の調整を助けるために責任がありますMAUとFFUと協働して,ワークショップ内の温度と湿度の正確なバランスを維持します.この3つのコンポーネントは互いを補完し,クリーンルームのための完全で効率的な空気浄化と環境管理システムを構築します.

The MAU uses advanced PID control algorithms based on the set temperature value and the actual feedback value in the workshop to precisely adjust the water flow or refrigerant flow of the cooling or heating coils温度制御を直接支配していないが,FFU自体は,温度制御を直接支配していない.FFU の空気容量は,ワークショップ内の空気分布に影響し,したがって間接的に温度分布に影響を与えるので,システムの稼働と運用中に,FFUの空気容量を合理的に設定し最適化する必要があります. The DCC further cools or heats the air by adjusting the chilled water flow according to the changes in the sensible heat load in the workshop to ensure the uniformity and stability of the temperature in the workshop例えば,温度制御の要求が非常に高いいくつかの半導体製造クリーンルームでは,MAU,FFU,ワークショップの非常に小さな範囲内で温度変動範囲を厳格に制限することができます温度の変化によって生産プロセスに干渉されないようにします.

The humidification and dehumidification modules in the MAU automatically switch working modes and adjust the humidification or dehumidification amount according to the set humidity and the actual humidity in the workshop一般的な湿化方法には蒸気湿化と電極湿化が含まれ,湿化方法には凝縮湿化と回転湿化が含まれます.フィルタリング過程で FFU は気湿を大きく変化させないため薬剤清掃室では,薬物の品質の安定性のために,精度の高い湿度制御が不可欠です.湿度センサーと併用ワークショップの空気配給と連携して,薬剤の生産に適した特定の範囲内で,すべてのワークショップの湿度を常に保持します.薬剤の生産のための理想的な湿気環境を作り出す.

MAUの原始フィルターと中高効率フィルターは,新鮮な空気中のより大きな粒子の汚染物質を遮断し,その後の空気浄化のための基礎を設ける.高効率のフィルター (HEPAまたはULPA) は,高潔度基準を達成するための鍵です.粉塵や微生物などの微小な汚染物質を極度に効率的にフィルタリングしますクリーンルームが対応する清潔レベル要件を満たすようにする一方,FFUの均等な分布と安定した動作は,ワークショップ全体での清潔性の均一性を確保する上で決定的な役割を果たします.電子チップ製造のためのクリーンルーム効率の高いフィルタリングと合理的な配置により,真粒子がチップ製造プロセスを汚染するのを効果的に防止し,チップの生産量を大幅に改善することができます.

圧力センサーをクリーンルームの 異なるエリアに設置することで異なる領域間の圧力梯子の安定性を維持するために,圧力差フィードバックに応じて新鮮空気の供給量を調整します.例えば,清潔なエリアと不清なエリアの間には,外から汚染された空気が侵入するのを防ぐために正圧が維持されます.また,高度な清潔度のあるエリアの空気が低潔度のあるエリアに流れないようにするため,異なる清潔度のあるエリアの間にも適切な圧力差が設定されます.この圧力制御メカニズムは,クリーンルーム内の主要な生産プロセスと製品を外部汚染から保護するために重要です.

科学技術の進歩により,MAU + FFU + DCCシステムではインテリジェント制御技術が広く適用されています.PLC (プログラム可能な論理制御器) やDCS (分散制御システム) を採用することでシステム全体の集中的な監視と知的な管理が実現できます. Operators can intuitively understand the operating status and parameter information of each device in the system through the Human-Machine Interface (HMI) in the central control room and conduct remote control and parameter adjustmentsその間に the intelligent control system can also automatically make adaptive adjustments to various working condition changes during the system operation according to the preset control strategies and algorithms例えば,ワークショップ内の生産機器がオンまたはオフにされ,熱負荷,湿度負荷,または生成された汚染物質の量は変化すると,システムは,MAUの動作パラメータを迅速に検出し,自動的に調整することができます.さらに,インテリジェント制御システムは故障診断とアラームの機能も備えています.システム機器の潜在的な故障を及時に検知し,音声・光声アラームを通じて,保守のために関連する職員に通知できるシステムの信頼性と安定性を大幅に向上させる.

MAU + FFU + DCC システムの稼働は,その性能が標準に適合することを保証するための重要なリンクです.機械的性能をチェックするために,まず個々の機器の稼働を行う必要があります.例えば,MAUの扇風機の速度テスト,フィルターの圧力差テスト,扇風機の速度をチェックします.空気体積,およびFFUのフィルター整合性,およびDCCの水流調整性能を検証する.個々の機器の投入が合格した後,システム接続の稼働が完了異なる温度と湿度設定値や異なる生産負荷状況などの異なる作業条件をシミュレートすることによって,温度に対するシステムの制御効果,湿度,清潔度,圧力が試験され調整されます. 運用過程では,温度と湿度センサーなどの専門試験機器を使用する必要があります.塵粒子の計数機試験結果によると,システムの制御パラメータは最適化され調整されます.平均的なPID制御装置の積分および微分パラメータ,MAU,FFU,DCCの空気容量および水流量パラメータ,システムの最良の動作効果を達成するために.

マウ + FFU + DCC システムの制御技術は,クリーンルームの環境保全の核心です.温度,湿度,清潔度などの重要なパラメータの正確な制御によって,圧力が安定した,信頼性の高い,清潔室には高品質の空気環境が提供できます清潔な環境のための様々なハイテク生産と科学研究活動の厳しい要件を満たしています. 広州クリーンルーム建設株式会社, Ltd.この分野での豊富な経験と専門的な技術チームを持ち,先進的なMAU + FFU + DCCシステムソリューションと高品質なサービスを提供することにコミットしています.産業技術の発展傾向に引き続き注意を払い,継続的に革新と改善を行い,クリーンルーム技術の進歩に貢献します.クリーンルームの空気浄化と環境管理に関する質問や必要性がある場合,私達に連絡してください,私たちは心からあなたに奉仕します.