合理的な空気流の組織は,粒子制御にも不可欠な役割を果たします. 供給空気出口と返却空気入口の位置,形状,空気容量を注意深く設計することによって,クリーンルーム内で特定の空気流のパターンが形成される共通な空気流の組織形態には,単方向流 (ラミナー流) と非単方向流 (渦巻流) が含まれる.単方向流は平行流線で均等かつ安定的に動きます.素早く効率的に 汚染物質を清掃区域から 運び出すことができますこれは,チップ製造におけるリトグラフィープロセスワークショップなどの非常に高い清潔性要求のある領域に適しています. Non-unidirectional flow makes use of the clean air sent out from the supply air outlets to fully mix with the air in the workshop and reduces the particle concentration through multiple cycles of dilution一般的な清潔性の要求のあるワークショップで広く使用されています. さらに,エアカーテンやエアシャワーのような設備が設置され,ワークショップの入り口に"エアバリア"を形成できます汚染された空気や外からの粒子の侵入を防止する.また,入口または出口時に,人材や材料の表面に運ばれる粒子を効果的に除去することができます..