2025-12-06
クリーンルーム HVAC システムでは,FFU (ファンフィルターユニット)HEPAフィルタは 清潔度や空気流の分布 エネルギー効率や長期的運用安定に直接影響します適切なサイズで,システム性能と運用信頼性を維持しながら,クリーンルームが要求される分類を満たすことを保証します.
異なるISOクラスは,異なる空気流と供給カバーレベルを必要とします.以下の比率は,業界慣行で一般的に使用されています:
| ISOクラス | 典型的なFFUカバー | 一般的な用途 |
|---|---|---|
| ISO 5 | 80~100% | 半導体,重要な医薬品分野 |
| ISO 6 | 60~80% | 精密製造,研究室 |
| ISO 7 | 20~40% | 医療機器,電子機器 |
| ISO 8 | 10~20% | 一般工業生産 |
処理要件と空気流の均一性に応じてカバーを調整することができる.
一般的なFFUの寸法には,以下が含まれます.
1175 × 575 mm (4 × 2 フィート)
1175 × 1175 mm (4 × 4 フィート)
575 × 575 mm (2×2フィート)
選択は天井のグリッドタイプ,レイアウト,設備の間隔,および保守アクセスに依存します.
重要な基準は以下のとおりです.
定数気流量
エネルギー消費 (ECモーターはより効率的)
騒音レベル
空気速度安定性
HEPAフィルターとの互換性
これらの要因は,快適性,システムの効率性,および使用寿命に影響します.
HEPAフィルターは,要求される清潔基準に従って選択しなければならない.
| フィルターグレード | 効率性 | 典型的な用途 |
|---|---|---|
| H13 | 99.95% | ISO 7?? 8 クリーンルーム |
| H14 | 99.995% | 医薬品,病院,電子機器 |
| U15・U17 | 超高効率 | 半導体,光学製造 |
必要なグレードは,プロセスの敏感性と規制要件に依存します.
HEPAフィルターのサイズは,通常,FFUの寸法に一致しなければならない.
1175 × 575 mm
1175 × 1175 mm
575 × 575 mm
漏れを防ぐために,適切な密封が不可欠です.
その中には:
EN 1822 による工場漏れ試験
フィルタ媒体の種類 (ガラス繊維またはPTFE)
初期抵抗と動作抵抗
密封剤と枠材
これらの要因が過濾性能と使用期間を決定します
ACH 要求は ISO クラスによって異なっており,必要な FFU の数に影響を与える.
その中には:
垂直単方向流量 (ISO 5/6) に共通)
全天井のラミナリー流量配置
高潔度のある地域
これはFFUのレイアウト,スペース,数量を決定します.
低抵抗のHEPAフィルターと高効率のFFUを選択することで,運用エネルギー消費を削減できます.
必要な清潔度のレベルを決定し,カバー比率を最適化することで,適切な寸法を選択するクリーンルームシステムでは,信頼性の高い空気流と効率性,そして長期間の機能性を維持できます.