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クリーンルームのFFUとHEPAフィルターのサイズを決める方法

2025-12-06

クリーンルーム HVAC システムでは、FFU（ファンフィルターユニット）HEPA フィルターは、清浄度レベル、気流分布、エネルギー効率、長期的な動作安定性に直接影響します。適切なサイジングにより、システムのパフォーマンスと動作の信頼性を維持しながら、クリーンルームが必要な分類を確実に満たすことが保証されます。

1. FFU を選択するための重要な原則

1.1 クリーンルーム分類に基づくカバー率

ISO クラスが異なれば、必要なエアフローと供給範囲レベルも異なります。業界の慣例では、次の比率が一般的に使用されます。

ISOクラス	一般的な FFU カバレッジ	一般的なアプリケーション
ISO5	80～100%	半導体、重要な製薬分野
ISO6	60～80%	精密製造、研究所
ISO7	20～40%	医療機器、電子機器
ISO8	10～20%	一般工業生産

適用範囲は、プロセス要件と気流の均一性に応じて調整できます。

1.2 FFU サイズの選択

一般的な FFU の寸法は次のとおりです。

1175 × 575 mm (4×2 フィート)

1175 × 1175 mm (4×4 フィート)

575 × 575 mm (2×2 フィート)

選択は、天井グリッドのタイプ、レイアウト、機器の間隔、メンテナンスのアクセスによって異なります。

1.3 重要なパフォーマンスパラメータ

重要な基準には次のようなものがあります。

定格風量

エネルギー消費量（ECモーターの方が効率が良い）

騒音レベル

風速の安定性

HEPAフィルターとの互換性

これらの要因は、快適さ、システム効率、耐用年数に影響を与えます。

2. HEPAフィルターを選択するための重要な原則

2.1 濾過効率レベル

HEPA フィルターは、必要な清浄度基準に従って選択する必要があります。

フィルターグレード	効率	代表的な用途
H13	99.95%	ISO 7 ～ 8 のクリーンルーム
H14	99.995%	製薬、病院、電子機器
U15–U17	超高効率	半導体、光学製造

必要なグレードはプロセスの感度と規制要件によって異なります。

2.2 寸法の一致

HEPA フィルターのサイズは FFU の寸法と一致する必要があります。通常は次のとおりです。

1175×575mm

1175×1175mm

575×575mm

漏れを防ぐためには、適切なシールが不可欠です。

2.3 技術的な考慮事項

含む：

EN 1822 に準拠した工場リークテスト

濾材の種類（ガラス繊維またはPTFE）

初期抵抗と動作抵抗

シーリング材とフレーム材

これらの要因によって濾過性能と寿命が決まります。

3. システムレベルの設計に関する推奨事項

3.1 空気交換率

ACH 要件は ISO クラスによって異なり、必要な FFU の数に影響します。

3.2 エアフロー設計

含まれるもの:

垂直一方向流れ（ISO 5/6共通）

全天井層流レイアウト

局所的な高清浄度ゾーン

これにより、FFU のレイアウト、間隔、数量が決まります。

3.3 エネルギーパフォーマンス

低抵抗の HEPA フィルターと高効率 FFU を選択すると、動作エネルギー消費の削減に役立ちます。

4. 結論

クリーンルームの安定したパフォーマンスを実現するには、FFU と HEPA フィルターの適切なサイズ設定が不可欠です。必要な清浄度レベルを決定し、カバレッジ率を最適化し、適切な寸法を選択し、フィルターの品質を確保することにより、クリーンルームシステムは信頼性の高いエアフロー、効率、および長期的な機能を維持できます。