2025-08-18
I. 定義と概要
埋め込みセクション換気キャビネット(ESVC)は、ラミナーフロー封じ込めワークステーションとも呼ばれ、局所的な粒子制御を必要とするプロセス向けに設計された特殊なクリーンエアデバイスです。ISO 14644-1:2015(クリーンルームおよび関連制御環境)で定義されているように、一方向HEPA(高性能粒子エア)フィルターでろ過された気流を通じて、作業ゾーン内でISOクラス5(連邦規格209Eクラス100)以上の状態を維持します。
II. 動作原理
III. コア機能
IV. 構造的特徴
| コンポーネント | 材料仕様 | 仕上げ |
|---|---|---|
| キャビネット本体 | 304Lステンレス鋼(1.2mm) | 電解研磨(Ra ≤0.5μm) |
| 作業面 | 316Lステンレス鋼(2.0mm) | 鏡面仕上げ |
| フレームワーク | アルミニウム合金6063-T5 | 陽極酸化処理 |
| ビューパネル | 強化ガラス(8mm) | 帯電防止コーティング |
V. 技術仕様
| パラメータ | 標準モデル | カスタマイズオプション |
|---|---|---|
| 風量 | 1000-1500 m³/h | 最大3000 m³/h |
| 消費電力 | 0.75 kW | 1.5~3.0 kW |
| 騒音レベル | ≤62 dB(A) | ≤55 dB(A) |
| フィルター効率 | 99.995% @ 0.3μm | 99.9995% @ 0.1μm |
| 作業ゾーンの寸法 | 1200*600*700 mm | 2400*900*800 mm |
VI. 業界での用途
VII. 設置要件
VIII. メンテナンスプロトコル