モジュール式プレハブクリーンルームはクリーンルームの一種であり、機器の清浄度を迅速に向上させることができます。光学、電子組立ライン作業、研究室、組立エリアのローカルエリアの浄化の機会に広く使用されています。
風を発生させるFFUを採用したモジュラープレハブクリーンルームは、フレームに工業用アルミニウム(ステンレス鋼または塗装スチール)と静電気防止ステッカー(またはカーボンガラス)を使用しており、クリーンルームの清浄度を10〜300Kに達成できます。
| フェデラルスタンダード209E | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| レベル | >=0.1um | >=0.2um | >=0.3um | >=0.5um | >=5um | 同等 |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ISO3 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | ISO4 | |
| 100 | 100 | ISO5 | ||||
| 1000 | 1000 | 7 | ISO6 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | ISO7 | |||
| 100000 | 100000 | 700 | ISO8 | |||
| ISO 14644-1 クリーンルーム規格 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| レベル | >=0.1um | >=0.2um | >=0.3um | >=0.5um | >=1um | >=5um | 同等 |
| ISO1 | 10 | 2 | |||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
| ISO4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
| ISO5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
| ISO6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
| ISO7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
| ISO8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
| ISO9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 室内空気 | |||
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