クリーンルームは、微粒子汚染が生産される製品の品質に影響を与える可能性があるあらゆる製造プロセスにとって不可欠です。クリーンルームは、制御された空気濾過を通じて保護ガイドラインと安全な環境を提供し、重要なプロセス製造における製品汚染や大きな粒子による干渉の可能性を低減します。
さらに、クリーンルームの分類では、クリーンルームの稼働中は正圧が継続的に維持されることが求められます。このプロセスにより、汚染された空気がきれいな空気環境内に逆流するのを防ぎます。このプロセスにより、濾過されたきれいな空気がきれいな空間からそれほどきれいではない空間へ継続的に流れることができ、継続的な空気の移動が可能になります。
| フェデラルスタンダード209E | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| レベル | >=0.1um | >=0.2um | >=0.3um | >=0.5um | >=5um | 同等 |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ISO3 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | ISO4 | |
| 100 | 100 | ISO5 | ||||
| 1000 | 1000 | 7 | ISO6 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | ISO7 | |||
| 100000 | 100000 | 700 | ISO8 | |||
| ISO 14644-1 クリーンルーム規格 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| レベル | >=0.1um | >=0.2um | >=0.3um | >=0.5um | >=1um | >=5um | 同等 |
| ISO1 | 10 | 2 | |||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
| ISO4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
| ISO5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
| ISO6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
| ISO7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
| ISO8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
| ISO9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 室内空気 | |||
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