クリーンルームは、製造される製品の品質に粒子状の汚染が影響を与える可能性のあるあらゆる製造プロセスに不可欠です。クリーンルームは、制御された空気ろ過を通じて保護ガイドラインと安全な環境を提供し、製品汚染や重要なプロセス製造における大きな粒子状物質の干渉の可能性を低減します。
さらに、クリーンルームの分類では、クリーンルームが稼働している間、陽圧を継続的に維持する必要があります。このプロセスにより、汚染された空気がクリーンな空気環境に逆流するのを防ぎます。このプロセスにより、クリーンなろ過された空気がクリーンな空間からそれほどクリーンでない空間に継続的に流れ、継続的な空気の流れが可能になります。
| FED STD 209E | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| レベル | >=0.1um | >=0.2um | >=0.3um | >=0.5um | >=5um | 相当 |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ISO3 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | ISO4 | |
| 100 | 100 | ISO5 | ||||
| 1000 | 1000 | 7 | ISO6 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | ISO7 | |||
| 100000 | 100000 | 700 | ISO8 | |||
| ISO 14644-1 クリーンルーム規格 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| レベル | >=0.1um | >=0.2um | >=0.3um | >=0.5um | >=1um | >=5um | 相当 |
| ISO1 | 10 | 2 | |||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
| ISO4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
| ISO5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
| ISO6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
| ISO7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
| ISO8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
| ISO9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 部屋の空気 | |||
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